日本電子株式會社推出最新場發(fā)射透射電子顯微鏡 (2006-04-29)
發(fā)布時間:2007-12-04
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來源:儀器信息網
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2006年4月17日,JEOL Ltd.總裁Yoshiyasu Harada宣布,日本電子在全世界同步推出最新型號的300kV場發(fā)射透射電子顯微鏡??JEM-3100F。
JEM-3100F分辨率達到0.17nm(300kV,UHR),是同檔次世界上最先進的透射電子顯微鏡,尤其在納米材料測試方面,具有非常高的效能。它的控制系統采用了最新的數字技術,使得操作更為簡便。該款產品同樣適合于過程測試,可以對由聚焦離子束切割的相對較厚的半導體器件進行高通量檢測。