日前，由上海交通大學承擔的“準LIGA技術及其應用研究”課題取得突破。該課題組開發(fā)出了三種多層復雜三維微結(jié)構的準LIGA技術新工藝，獲得了含有三層微結(jié)構、總厚度大于1.4 mm的異型紡絲噴嘴。通過對該三種工藝的優(yōu)缺點進行比較，得出了三種工藝的應用范圍。應用準LIGA技術多層復雜三維微結(jié)構加工工藝制備出了異型紡絲噴嘴、鎳雙層微齒輪模具和集成探卡；應用準LIGA技術可動微結(jié)構一體化加工工藝制備出了菲涅爾透鏡和光衰減器，應用于光學平臺中。 準LIGA技術采用厚膠紫外光刻、模具電鑄和微復制工藝制備高深寬比金屬和塑料微結(jié)構，具有成本低、批量大和重復性好等優(yōu)點，國內(nèi)外多家研究機構在此技術上都投入了大量精力。該課題組已申請國家發(fā)明專利2項，發(fā)表或被錄用論文6篇，并用準LIGA技術為國內(nèi)多家單位進行了MEMS器件的研發(fā)。MEMS慣性開關是一種具有重要應用前景的微執(zhí)行器，課題組對MEMS慣性開關及其相關器件進行了設計、加工和性能測試，用有限元分析軟件對MEMS慣性開關中的微彈簧的形狀和幾何參數(shù)進行了優(yōu)化，開發(fā)出用于微彈簧力學性能測試的裝置，研制出了MEMS慣性開關原理樣機。